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中科院微電子所碩士課程
2025年04月12日 18:43
中科院微電子所的碩士課程包含集成電路先導工藝與儀器裝備技術、集成電路與系統設計技術、高性能器件與電路集成技術、射頻、微波器件與電路集成技術、三維集成與系統封裝技術、新型納米器件與集成技術、物聯網與傳感器技術等相關方向的課程。此外，MEMS 制造工藝相關課程會詳細講解如光刻工藝、薄膜沉積工藝、刻蝕工藝、單步特殊制造工藝等內容。
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